Mikromechanische Siliziumkreisel

Verglichen mit den Milliardenumsätzen der Chipindustrie steckt die Mikrosystemtechnik noch in den Kinderschuhen. Technologisch gesehen gibt es allerdings eindrucksvolle Fortschritte, von denen mikromechanische Sensoren besonders profitieren. Ein inzwischen auch kommerziell interessantes Beispiel sind Beschleunigungs- und Drehraten-Messer, so genannte Accelerometer und Gyroskope. Bei verringerten Herstellungskosten erschließen sich unzählige Anwendungsmöglichkeiten!