| Oberflächen-Mikrobearbeitungstechniken ermöglichen die Herstellung von hochzuverlässigen, robusten mikroelektromechanischen Systemen (MEMS),...
Shailja Tewari (1)
| Oberflächen-Mikrobearbeitungstechniken ermöglichen die Herstellung von hochzuverlässigen, robusten mikroelektromechanischen Systemen (MEMS),...